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用拋光液的超精密拋光技術(shù)作為制造業(yè)發(fā)展的標志之一，已深入到了航空航天、軍事、集成電路、民用設(shè)備等諸多領(lǐng)域。但目前國內(nèi)發(fā)展水平仍處于較低階段，對拋光原理了解不夠深入，加工過程也過多的依賴經(jīng)驗，效率低下。本文受“先進制造技術(shù)與裝備”東莞市重中之重學(xué)科項目資助，運用拋光液虛擬樣機這一近年來得到迅速發(fā)展和廣泛運用的先進制造技術(shù)對超精密雙面拋光機的機械去除作用進行了深入分析。重點研究了拋光工藝參數(shù)、加工工件的運動特性以及拋光結(jié)果三者間的關(guān)系。 |
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