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拋光液的運輸及保存

1、運輸與存放溫度為5ºC～50ºC。存放時應(yīng)避光，以避免漿料變質(zhì)。

2、保質(zhì)期一年，建議半年內(nèi)使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免與強電解質(zhì)的接觸。

拋光液在拋光中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比，均能達到最佳使用效果。與美國和日本的同類產(chǎn)品相比，該產(chǎn)品采用無金屬離子、易溶于水的螯合劑，有效控制晶片表面的各種沾污，主要參數(shù)指標上均能滿足IC要求。